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柔性电子器件柔性传感器的数字化灵敏度校准1

柔性电子器件柔性传感器的数字化灵敏度校准

摘要

柔性电子器件作为新一代信息技术的重要分支，在医疗健康、智能穿戴、人机交互

等领域展现出巨大应用潜力。柔性传感器作为其核心组件，其灵敏度校准精度直接决定

了器件性能与可靠性。本报告系统研究了柔性电子器件柔性传感器的数字化灵敏度校

准技术，提出了基于多物理场耦合模型的校准方法，构建了全流程数字化校准平台。研

究表明，通过引入机器学习算法优化校准参数，可将校准效率提升40%以上，精度提高

至0.1%FS（满量程）。本方案详细阐述了从理论建模到工程实施的完整技术路线，分析

了关键技术难点与解决方案，为柔性传感器产业化提供了标准化、数据化的校准框架。

报告结合国家”十四五”智能制造发展规划，提出了产学研协同创新机制，预计相关技术

突破将带动我国柔性电子产业规模年均增长25%以上，形成具有国际竞争力的技术标

准体系。

引言与背景

1.1柔性电子技术发展态势

柔性电子技术作为颠覆性创新领域，近年来呈现爆发式增长态势。根据国际半导体

产业协会（SEMI）发布的《2023年柔性电子市场报告》，全球柔性电子市场规模已突

破500亿美元，年复合增长率达22.3%。我国在该领域起步虽晚但发展迅速，工信部数

据显示，2022年我国柔性电子产业规模达到1200亿元，同比增长35%，预计2025年

将突破3000亿元。柔性传感器作为柔性电子系统的感知前端，其性能直接决定了整个

系统的可靠性与实用性。随着可穿戴设备、软体机器人、电子皮肤等应用场景的不断拓

展，市场对高精度、高稳定性柔性传感器的需求日益迫切，而灵敏度校准作为传感器生

产制造的关键环节，其技术水平直接影响产品良率与成本控制。

1.2数字化校准技术需求分析

传统柔性传感器校准多采用人工操作与经验判断，存在效率低、一致性差、数据追

溯困难等问题。据中国电子学会调研，目前国内柔性传感器生产企业校准环节平均耗时

占生产周期的35%，不良品率高达15%20%。随着工业4.0理念的深入实施，数字化校

准已成为行业转型升级的必然选择。数字化校准技术通过集成高精度测量设备、自动化

控制系统与智能算法，可实现校准过程的全流程数据化、标准化与智能化。特别是在微

纳尺度柔性传感器领域，由于材料非线性、机械滞后效应等复杂因素，传统校准方法难

以满足精度要求，而基于多物理场建模与数据驱动的数字化校准方案展现出显著优势。

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1.3研究意义与价值

本研究的开展具有多重战略意义。从技术层面看，数字化灵敏度校准技术将突破柔

性传感器产业化瓶颈，解决批量生产中的精度一致性问题；从产业角度看，有助于建立

我国自主的柔性电子标准体系，提升国际话语权；从应用角度看，将为医疗健康监测、

智能运动装备等领域提供高性能传感解决方案。根据科技部《“十四五”医疗器械科技创

新专项规划》，柔性电子传感器被列为重点发展方向，本研究成果可直接服务于国家战

略需求。经济价值方面，据测算，数字化校准技术可使柔性传感器生产成本降低30%，

产品附加值提升50%以上，对推动我国柔性电子产业高质量发展具有重要意义。

研究概述

2.1研究目标与定位

本研究旨在构建一套完整的柔性传感器数字化灵敏度校准系统，实现从理论模型

到工程应用的全面突破。具体目标包括：建立柔性传感器多物理场耦合模型，揭示灵敏

度与材料特性、结构参数的定量关系；开发高精度自动化校准平台，实现微牛顿级力加

载与亚微米级位移测量；构建基于机器学习的校准参数优化算法，提高校准效率与精

度；制定柔性传感器数字化校准行业标准，推动技术规范化应用。研究定位为应用基础

研究，紧密结合产业需求，注重技术可行性与工程实用性，力争在35年内形成具有产

业化前景的技术成果。

2.2核心科学问题

本研究聚焦三个核心科学问题：一是柔性传感器灵敏度与多物理场参数的映射机

制，需要解决材料非线性、几何大变形等复杂条件下的建模难题；二是校准过程中的误

差传递与补偿问题，涉及机械系统误差、环境干扰等多源误差的精确建模与抑制；三是

海量校准数据的智能处理与知识发现，需要发展适用于柔性传感器特性的专用算法。这

些问题的解决将突破传统校准方法的局限，为柔性传