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2025/11/301真空镀膜详述
2025/11/302真空镀膜方法-概述真空镀膜方法物理气相沉积(PVD)化学气相沉积(CVD)蒸发镀离子镀溅射镀热CVD法等离子增强CVD法热蒸镀法电子束蒸镀法直流溅射法射频溅射法中频溅射法
2025/11/303真空镀膜方法-概述物理气相沉积(PVD)物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。
2025/11/304特点:
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