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退火质子交换周期性极化掺镁铌酸锂脊型波导：从理论设计到工艺实现

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，光通信、光传感、光计算等光电子领域对高性能光波导器件的需求日益迫切。光波导作为光信号传输和处理的关键元件，其性能直接影响着整个光电子系统的性能。传统的平面波导在集成度、模式限制能力等方面存在一定的局限性，难以满足日益增长的高速、大容量、小型化光电子器件的需求。脊型波导作为一种新型光波导结构，因其独特的结构优势，在光通信和光电子领域展现出广泛的应用前景。

退火质子交换周期性极化掺镁铌酸锂脊型波导结合了退火质子交换技术、周期性极化技术以及掺镁铌酸锂材料的优点，具有诸多独特优势。