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Mo、Mo-Nb和Mo-Ti薄膜的制备工艺与性能研究：方法、特性及应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与工程领域，薄膜材料以其独特的性能和广泛的应用前景，成为了研究的热点之一。Mo（钼）作为一种重要的金属元素，具有高熔点（2617℃）、高强度、良好的导电性和导热性以及优异的耐腐蚀性等特点，使其在众多领域中展现出不可或缺的价值。而Mo-Nb（钼-铌）和Mo-Ti（钼-钛）合金薄膜，通过在Mo中引入Nb和Ti元素，进一步拓展了材料的性能边界，在不同的应用场景中表现出独特的优势。

在电子领域，随着集成电路技术的飞速发展，对电子材料的性能提出了更高的要求。M