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《热加工工艺》2015年7月第44卷第l4期

高能束金属材料表面处理技术的物理机制及应用

李明娟，刘伟波

(1．滨州学院飞行学院，山东滨州256603；2．滨州学院光电工程系，山东滨州256603)

摘要：综述了高能束材料表面处理技术的类型、物理机制及其应用；并通过强脉冲离子束技术与激光束、电子束

及传统离子注入的比较，表明强流脉冲离子束技术在金属材料表面处理方面的优势。

关键词：高功率脉冲激光柬；电子束；强流脉冲离子束；表面处理；机理

DOI：10．14158／j．cnki．1001-3814．2015．14．009

中图分类号：TG178文献标识码：A文章编号：1001-3814(2015)14-0037—03

PhysicalMechanismsandApplicationofHigh-energyBeam

SurfaceTreatmentTechnologyinMetallicMaterals

LIMingjuan．LrJ【Weibo

(1．FlyingCollege，Bin~ouUniversity，Binzhou256603，China；2．DepartmentofOpto-electronicEngineering，Binzhou

Universiyt，Binzhou256603，China)

Abstract：Thetype，physicalmechanismnadapplicationofhigh-energybeamsurfacerteatmenttechnoloygnimaterials

werereviewed．Comparedhi曲inensitypulsedionbeammhighpowerpulseddlaserbeam，elecrtonbeamand

traditionalionimplnatation，itgivestheadvnatagesofhighintensiytpulsedionbeamtechnoloyginmeatllicmateralssurface

treatment．

Keywords：highpowerpulsedlaserbeam；elecrtonbeam；high-intensiytpulsedionbema；surfacetreamtent；physical

mechanism

高能束表面处理是指采用激光束、电子束和离至工件材料表面，材料吸收光子能量而转化为热量，

子束等高密度能量源，照射或注入材料表面，使材料表层温度升高并向内部传热；材料表层吸收激光能

表层成分、组织及结构发生变化，从而改变材料的物量。温度升高至相变点以上发生固态相变，此加工工

理、化学与力学等性能的一项先进制造技术[1]。高能艺即为激光表面淬火；材料的温度继续升高至熔点

束表面处理的共同点是：能源的能量密度特别高，采以上，材料熔化并形成熔池．涉及到主要工艺为激

用非接触式加热，热影响区小，对工件基材的性能及光熔融、激光熔覆和激光表面合金化等，继续升温至

尺寸影响小，工艺可控性强，便于实现计算机控制。气化点以上，形成等离子体现象。利用等离子体的

近年来，随着材料表面性能要求的进一步提高、人们反冲效应，可对材料进行冲击硬化处理。当材料在不

对环保和可持续发展意识逐步加强。高能束表面处同加热温度下被冷却，将出现晶粒细化、相变硬化等

理技术的应用领域越来越广阔。现象。

激光清洗作为一种较为成熟的应用较为广泛

1高能束材料表面处理技术的类型、