《真空蒸发镀膜法》课件.ppt

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《真空蒸发镀膜法》ppt课件

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真空蒸发镀膜法简介

真空蒸发镀膜法是一种在真空条件下，利用加热蒸发的方式将膜料气化，然后在基材表面凝结形成薄膜的技术。在真空环境中，通过加热蒸发源，使膜料气化，然后通过控制蒸发速率和基材温度，使气态的膜料在基材表面凝结形成致密的薄膜。定义与原理原理定义

19世纪末期20世纪初期1930年代1970年代至今发展历空蒸发镀膜技术的概念开始出现。实验性的真空蒸发镀膜设备被研制出来。工业规模的真空蒸发镀膜技术