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HotWorkingTechnology2018，Vo1．47，No．6

农机刀具表面ZrN薄膜结合力影响因素分析

吴奕然，王会强，李颖，徐矗钊，赵晨羽，张成杰

f河北农业大学机电工程学院，河北保定071001)

摘要：从主轰击、基体温度与辉光放电清洗时间三方面对农机刀具表面磁控溅射硬质涂层ZrN薄膜结合力进行

分析。结果表明，磁控溅射艺rrI基体温度对薄膜与介质漆的结合力影响不大。丁艺巾主轰击直接导致薄膜的脱落。T

艺中辉光放电清洗可提高膜层的结合力，其是改善薄膜与基体结合的主要T艺素。

关键词：磁控溅射；农机刀具；薄膜

DOI：10．14158~．cnki．1001-3814．2018．06．046

中图分类号：TG174．4文献标识码：A文章编号：1001—3814(2018)06—0192-03

AnalysisonInfluencingFactorsofBondingForceofZrNFilms

onAgriculturalToolSurface

wuYiran，WANGHuiqiang，LIYing，XUHongzhao，ZHAOChenyu，ZHANGChengjie

(CollegeofMechanicalandElectricEngineering，HebeiAgriculturalUniversity，Baoding07100l，China)

Abstract：Thefilmbondingforceofmagnetronspu~eringhardcoatingZrNonagriculturalmachinerycuttersurfacewas

analyzedfromthreeaspects：mainbombardment，matrixtemperatureandglowdischargecleaningtime．Theresultsshowthat

thematrixtemperatureinthemagnetronsputteringprocesshaslittleeffectonthebondingforceoffilmandmediapaint．The

mainbombardmentintheprocessdirectlycausesthefilmtofalloff,andtheglowdischargecleaningintheprocesscan

improvethebondingforceoffilm，whichisthemainprocessfactortoimprovethebondingbetweenfilmandmatrix．

Keywords：magne~onsputtering；agriculturalmachinerytool；film

我国每年使用农业耕作机械约为150万台，每文对ZrN薄膜的膜基结合力进行了研究。

台农业机械上所使用的农机刀具若干，每把器具重

1主轰击对膜基结合力的影响

约1。如果每台农业机械上每年节约2把器具，每

年可为国家节省3000t钢材，而且可带动其它相关选取主轰击进行试验，工艺中不加入基体升温与

产业发展。因此，通过对农机刀具的表面强化，可显基体清洗工艺，试验工艺为：试样装卡一抽真空一主

著增加器具的耐磨性、耐蚀性，提高使用寿命，节约轰击一沉积一取样。试样为喷有介质漆的铝合金。

资源。过渡金属氮化物中的ZrN是一种难熔的硬质选择主轰击的时间分别为l、2、3、4、5min。具体

化合物，且具有较好的稳定性、耐蚀性、色调可调控操作为：炉体抽真空结束后打开氩气气体流量计，同

性。随着表面处理新技术的迅速发