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W3C.002
基于比例热导率测量的集成二氧化碳传感器
1232
Z.蔡,R.H.M.范·维尔德,A.法莱平,H.Suy,E.
3
Sterckx,K.A.A.Makinwa111和M.A.P.PertijsDelft理
23
工大学，代尔夫特，荷兰恩智浦，埃因霍温，荷兰
恩智浦，比利时
2
（例如，CO浓度变化200ppm，变化小于80ppm），
抽象的
本文了一种用于室内空气质量传感的CO传需要极高分辨率的温度测量，此外，还需要极其稳定的
2
2集成功率基准，这超出了现有技术的水平。因此，基于
感器。基于热导的CO传感器及其读出电路均采用
2
0.16μmCMOS技术实现。读出电路基于增量TC的CO传感器的分辨率在百分比范围[5],内，或者
ADC，采用比率测量来避免对稳定电源参考的需求。该需要使用昂贵的片外读出电路[4]。
传感器在70秒的测量时间内实现了228ppm(1σ)CO2
分辨率，同时在1.8V电源下消耗11.2mW的功率。该表1：某些气体在0°C和25°C时的热导率（=1013
分辨率比最先进的基于热导率的CO传感器提高了2mbar）
2
倍，从而有助于实现用于空气质量的完全集成C气体类型K(0°C)K(25℃)
（毫瓦/公里）（毫瓦/公里）
2
O传感器，并且与非集成CO传感器相比，其成本(
2Air24.026.0
10x)和体积(100x)显着降低。氢174.0180.0
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