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晶硅光伏电池制绒表面形貌多尺度表征与质量控制

摘要

本报告系统研究了晶硅光伏电池制绒表面形貌的多尺度表征方法与质量控制体系。

随着光伏产业快速发展，制绒工艺作为提升电池转换效率的关键环节，其表面形貌的精

确控制日益重要。报告首先分析了国内外制绒技术发展现状，指出当前表面形貌表征方

法存在尺度单一、数据整合不足等问题。基于多尺度表征理论，构建了从纳米级到毫米

级的完整表征体系，结合机器学习算法建立了形貌参数与光电性能的关联模型。通过实

验验证了该方法在提升电池效率1.2%以上、降低生产成本8%的显著效果。报告还提

出了基于过程分析技术(PAT)的在线质量控制方案，设计了包含扫描电镜、原子力显

微镜和光学轮廓仪的多设备协同表征系统。风险评估显示，技术实施风险可控，投资回

报周期预计为2.3年。本研究成果为光伏电池制造提供了系统的表面形貌解决方案，对

推动产业技术升级具有重要意义。

引言与背景

1.1光伏产业发展现状

全球光伏产业正处于高速发展期，根据国际能源署(IEA)最新报告，2022年全球

光伏装机容量达到1185GW，同比增长26%。中国作为全球最大的光伏制造国，产量占

全球70%以上，其中晶硅电池占据主导地位，市场份额超过95%。随着”双碳”目标的

推进，光伏发电成本持续下降，预计到2030年将成为最廉价的电力来源之一。产业规

模的快速扩张对电池效率提出了更高要求，目前实验室效率已超过26%，而量产效率普

遍在2223%之间，存在明显提升空间。

制绒工艺作为晶硅电池制造的关键环节，直接影响光的吸收和载流子复合。传统金

字塔结构制绒技术已趋于成熟，但面对N型电池、异质结等新技术路线，对表面形貌

的要求更加复杂多样。如何实现多尺度表面结构的精确控制，成为提升电池效率的核心

问题。当前产业界普遍采用单点表征方法，难以全面反映表面形貌特征，亟需建立系统

的多尺度表征体系。

1.2制绒技术发展历程

晶硅制绒技术经历了从简单到复杂的发展过程。1970年代首次发现碱性溶液可在

硅片表面形成金字塔结构，1980年代该技术开始应用于产业化生产。传统制绒主要采用

NaOH或KOH溶液，通过各向异性腐蚀形成随机分布的正金字塔，尺寸控制在210m

范围。这种结构能有效降低反射率至10%以下，但存在均匀性差、尺寸分布宽等问题。

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进入21世纪，随着表面科学研究的深入，多种新型制绒技术不断涌现。金属辅助

化学腐蚀(MACE)可实现纳米线结构，反射率低至2%；反应离子刻蚀(RIE)技术可制

备规则排列的微纳复合结构；激光制绒技术则实现了无溶液的干法加工。每种技术都有

其适用场景和局限性，需要根据电池类型和效率目标进行选择。当前产业面临的主要挑

战是如何在量产条件下实现这些复杂结构的精确控制。

1.3研究意义与必要性

表面形貌对光伏电池性能的影响体现在多个方面：光学特性、电学特性和机械特

性。在光学层面，表面结构决定了光的反射、散射和吸收；在电学层面，表面复合速率

与比表面积直接相关；在机械层面，表面形貌影响后续工艺的附着力。因此，建立全面

的多尺度表征体系对提升电池综合性能至关重要。

从产业角度看，当前光伏电池生产已进入”精益制造”阶段，传统经验驱动的工艺控

制方式难以满足高效率、低成本的双重需求。通过多尺度表征获取的定量数据，可以为

工艺优化提供科学依据，实现从”制造”向”智造”的转变。特别是在N型电池技术快速发

展的背景下，对表面形貌的要求更加严格，相关研究具有紧迫性和前瞻性。

研究概述

2.1研究目标与范围

本研究旨在建立晶硅光伏电池制绒表面形貌的多尺度表征体系，并基于此开发高效

的质量控制方法。具体目标包括：构建从纳米级到毫米级的表面形貌参数体系；开发多

设备协同的表征技术；建立形貌参数与光电性能的定量关系；设计在线质量监测系统；

制定制绒工艺优化方案。

研究范围涵盖主流晶硅电池类型，包括P型PERC、N型TOPCon和异质结电池。

制绒技术重点关注碱性制绒、酸性制绒和干法刻蚀三种主流工艺。表征尺度从1nm的

表面粗糙度到1mm的宏观均匀性，跨越6个数量级。研究材