非晶硅薄膜太阳能电池清洗.pptVIP

第30页，共46页，星期日，2025年，2月5日第31页，共46页，星期日，2025年，2月5日结论综上所述，薄膜厚度的均匀性严重影响着光透射谱的形状，使它与均匀厚度样品的透射谱有较大差异，主要发生在薄膜的无吸收区和弱吸收区，对强吸收区影响不大．这种差异表现在峰一峰值变小和振荡周期畸变上，随着厚度不均匀度增大而越加明显，但是减小照射面积可有效地降低这种影响．参考文献：陈冶明．非晶半导体材料和器件EM]．北京：科学出版社，1991．166～415．YingXuantong，FeldmanA，FarabaughEN．FittingoftranmissiondatafordeterminingtheopticalconstantsandthicknessesofopticalfilmsEJ]．J．App1．Phys．，1990，67(4)：2056．第32页，共46页，星期日，2025年，2月5日NIP型非晶硅薄膜太阳能电池第33页，共46页，星期日，2025年，2月5日第1页，共46页，星期日，2025年，2月5日非晶硅薄膜电池生产第2页，共46页，星期日，2025年，2月5日超声波玻璃清洗机（重要设备）（镀膜前清洗）工艺：洗的是膜表面上的污垢和灰尘及一种高分子材料要求：导电玻璃,不在生产线上用，速度越快越好；离线使用，单面清洗；导电玻璃最初清洗的材料是一种高分子材料（类似塑料），清洗液可能是水，也可能是四氢呋喃THF。第3页，共46页，星期日，2025年，2月5日激光划线机1（重要设备）工艺：这一步主要是划刻氧化锡，使用的1064纳米波长的红外激光器要求：刻蚀速度、激光源寿命、操作系统是否简单且方便操作、Deadarea无用区域大小（三条刻膜线总线宽）、划刻线宽、系统产能（MW/年）第4页，共46页，星期日，2025年，2月5日预热炉工艺：加热导电玻璃第5页，共46页，星期日，2025年，2月5日PECVD真空沉积系统，即等离子体增强化学沉积(主要设备)工艺：非晶硅p-i-n镀膜要求：电池转换率6%、生产效率、玻璃基片型号资料、价格第6页，共46页，星期日，2025年，2月5日冷却炉工艺：对导电玻璃降温第7页，共46页，星期日，2025年，2月5日激光划线机2（重要设备）工艺：这一步主要是划刻非晶硅a-Si，使用的532纳米波长的绿激光器要求：刻蚀速度、激光源寿命、操作系统是否简单且方便操作、Deadarea无用区域大小（三条刻膜线总线宽）、划刻线宽、系统产能（MW/年）第8页，共46页，星期日，2025年，2月5日磁控溅射系统（主要设备）工艺：主要是透明氧化物TCO镀膜，金属（银或铝）背电极镀膜第9页，共46页，星期日，2025年，2月5日激光划线机3（重要设备）工艺：这一步主要是划刻铝或者银以及氧化锌膜，使用的532纳米波长的绿激光器要求：刻蚀速度、激光源寿命、操作系统是否简单且方便操作、Deadarea无用区域大小（三条刻膜线总线宽）、划刻线宽、系统产能（MW/年）第10页，共46页，星期日，2025年，2月5日TCOTCO（Transparentconductingoxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜，主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。TCO玻璃首先被应用于平板显示器中，现在ITO类型的导电玻璃仍是平板显示器行业的主流玻璃电极产品。近几年，晶体硅价格的上涨极大地推动了薄膜太阳能电池的发展，目前薄膜太阳能电池占世界光伏市场份额已超过10％，光伏用TCO玻璃作为电池前电极的必要构件，市场需求迅速增长，成为了一个炙手可热的高科技镀膜玻璃产品。第11页，共46页，星期日，2025年，2月5日TCO镀膜玻璃的特性及种类在太阳能电池中，晶体硅片类电池的电极是焊接在硅片表面的导线，前盖板玻璃仅需达到高透光率就可以了。薄膜太阳能电池是在玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，目前主要有以下三种TCO玻璃与光伏电池的性能要求相匹配。

第12页，共46页，星期日，2025年，2月5日ITOITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。IT