基于有限元和正交试验法的CVD感应加热器数值模拟及优化.pdfVIP

HotWorkingTechnology2017，Vo1．46，No．22

基于有限元租正交试验法的CVD感应加热器

数值模拟及优化

卢钦强2，李其仲2，张显3，章嵩3涂溶

(1．武汉理工大学现代汽车零部件技术湖北省重点实验室，湖北武汉430070；2．武汉理工大学汽车零部件技术湖北

省协同创新中心，湖北武汉430070；3．武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室，湖北武汉430070)

摘要：通过有限元数值模拟软件与正交试验设计相结合的方法对CVD设备反应室的温度场进行优化。研究了激

励电流、电流频率、线圈匝数、线圈间距和加热时间对沉积石墨管温度场的影响。引入平均温度、温度标准差及变异系数

指标．采用5因素5水平的正交试验法来设计参数组合进行有限元模拟。通过极差分析和方差分析确定影响石墨管的

温度、温度方差及变异系数指标的主次因素，确定最优值。最后对最优的感应加热参数进行模拟验证。结果表明：优化后

的温度均匀性获得改善。同时．模拟次数大量减少，提高了优化效率。

关键词：有限元；正交试验；感应加热；参数优化

DOh10．14158／j．cnki．1001-3814．2017．22．020

中图分类号：TP391．9文献标识码：A文章编号：1001—3814(2017)22．0082．05

NumericalSimulationandOptimizationofCVDInductionHeating

BasedonFiniteElementandOrthogonalExperimentMethods

LUQinqiangL2，LIQizhong，ZHANGXian，ZHANGSong3，TURong3

(1．HubeiKeyLaboratoryofAdvancedTechnologyforAutomotiveComponents，WuhanUniversityofTechnology，Wuhan

430070，China；2．HubeiCollaborative。InnovationCenterforAutomotiveComponentsTechnoloyg，WuhanUniversiytof

Technoloyg，Wuhan430070，China；3．StateKeyLaboratoryofAdvancedTechnoloygofrMaterialsSynthesisandProcessing，

WuhanUniversiytofTechnology,Wuhna430070，China)

Abstract：FniiteelementmethodandorthogonalmethodwereusedtooptimizethetemperaturefieldofCVDequipment

reactionchamber．Theinfluencesofexcitationcurrent，currentfrequency,thecoilnumberoftuFns，coilspacingnadheating

timeonhtegraphiteutbetemperaturefieldweresutdied．Thedesignoftheparametercombinationforfiniteelement

simulationwascarriedoutbyusnig5factorsand5levelsorthogonalmethodintroducingaveragetemperature，temperature

satndarddeviationandcoefficientofvariation．Byrangeanalysisnadvarinaceanalysis，theprimaryandsecondaryfactorsof

htegraphiteutbetemperature，temperaturevarinaceandcoefficie