洁净室施工技术.pptx

洁净室施工技术;未找到bdjson;01;洁净室结构与材料;等级与洁净度反比：ISO数字越小洁净度越高，ISO1级比ISO8级严格350,000倍，适用于半导体纳米制造。

关键粒径控制：0.5μm粒子浓度是核心指标，5μm粒子在高级别洁净室（如ISO5）需额外严控（≤29个/m3）。

行业适配差异：制药行业依赖ISO5-8级（对应GMPA-D级），半导体需要ISO1-3级超净环境。

标准协同性：中国GB50073等效采用ISO标准，GMP在ISO基础上增加微生物动态监测要求。

粒子浓度跨度大：从ISO1到ISO8，≥0.5μm粒子限值跨越6个数量级，体现技术难度梯度。

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