深度解析(2026)《GBT 14847-2010重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》.pptxVIP

;目录;;标准制定的背景与溯源：行业需求如何驱动标准诞生？;（二）标准的核心适用范围：哪些场景必须遵循本标准？;（三）行业价值深度解读：标准如何支撑半导体产业升级？;;红外反射测量的基本原理：光与外延层的“对话”机制是什么？;（二）重掺杂衬底的“关键作用”：为何衬底掺杂浓度是测量前提？;（三）轻掺杂外延层的光学特性：哪些参数影响测量精度？;;核心部件选型要求：光源、单色器、探测器如何匹配？;;;;;;;;;（二）数据采集的规范操作：如何减少环境干扰？;;;光谱数据预处理：如何剔除异常点与平滑曲线？;（二）核心拟合算法解析：高斯拟合与洛伦兹拟合如何选择？