第三章微机械制造技术-微机电系统技术基础.ppt

第三章

微机械制造技术;Date;微机械加工技术;微机械制造技术;微机械制造技术;微机械制造技术;微机械制造技术;微机械制造技术;一、各向同性腐蚀;Date;微机械制造技术;微机械制造技术;微机械制造技术;Date;Date;各向异性腐蚀原因;硅单晶是各向异性的，表现在化学腐蚀方面也是各向异性的。

腐蚀速率：

（100）/（111）为400：1;微机械制造技术;各向异性腐蚀的原因

1.硅在不同晶面上的晶胞密度可能是造成各向异性腐蚀的主要原因。

（111）面上的晶胞堆积密度大于（100）面，所以（111）面的腐蚀速率比预期的要慢

2.使硅表面原子氧化所需的能量，这与硅表面上未成对的每个原