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化学气相淀积工应急处置操作规程

文件名称：化学气相淀积工应急处置操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于化学气相淀积（CVD）工在操作过程中发生紧急情况时的应急处置。要求所有参与CVD工艺的人员必须熟悉本规程，并严格遵守。规程旨在确保人员在紧急情况下的安全，最大限度地减少事故损失，保障生产安全和环境保护。

二、操作前的准备

1.防护措施：

（1）操作人员应穿戴符合要求的防护服、防尘口罩、防化学品手套、防化学品眼镜及防化学品面罩等个人防护装备。

（2）进入操作区域前，必须进行全身清洁，确保无皮肤暴露。

（3）操作过程中，不得随意触摸面部、口鼻等敏感部位。

2.设备状态确认：

（1）检查设备电源、气源是否正常，确保所有设备处于良好工作状态。

（2）检查设备各部件、管道、阀门是否完好，无漏气、漏液现象。

（3）对设备进行预热，使其达到正常工作温度。

3.环境检查：

（1）检查操作区域通风是否良好，确保有害气体排放符合国家标准。

（2）检查地面、墙面及设备表面是否有油污、积水等，及时清理。

（3）检查应急设备（如消防器材、灭火器、急救箱等）是否完好，放置在明显位置。

4.操作人员培训：

（1）对操作人员进行CVD工艺、设备操作及应急处置知识的培训。

（2）确保操作人员熟悉本规程，掌握应急处置的基本技能。

5.安全检查：

（1）检查设备运行参数是否符合工艺要求，调整至最佳状态。

（2）检查设备安全防护装置是否有效，确保在紧急情况下能及时切断设备电源。

（3）检查操作区域是否存在安全隐患，及时消除。

6.文件记录：

（1）填写操作前检查记录，记录设备状态、环境情况及操作人员情况。

（2）对设备运行参数进行记录，以便后续分析及改进。

7.检查无误后，方可开始CVD工艺操作。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

（1）首先开启CVD设备，检查设备运行状态，确认设备各部件正常工作。

（2）启动真空泵，逐渐降低系统压力至预定值，确保真空度满足工艺要求。

（3）打开气源，依次通入反应气体、稀释气体等，调整流量至设定值。

（4）将待处理样品放置于CVD腔体，关闭腔体门，确保密封良好。

（5）启动CVD工艺程序，开始淀积过程。

（6）工艺完成后，关闭设备，等待腔体内压力恢复至常压。

（7）打开腔体门，取出样品，进行后续处理。

2.作业方式：

（1）操作过程中，严格按照规程进行，不得擅自更改工艺参数。

（2）密切观察设备运行状态，如发现异常，立即停止操作，并报告上级。

（3）定期检查设备，确保设备正常运行。

3.异常处置：

（1）设备故障：

a.关闭设备，切断电源，防止事故扩大。

b.根据故障现象，分析原因，采取相应措施进行处理。

c.若无法自行处理，立即通知维修人员。

（2）气体泄漏：

a.立即关闭气源，切断泄漏源。

b.疏散操作区域人员，避免吸入有害气体。

c.打开通风设备，降低有害气体浓度。

d.确认泄漏源修复后，方可重新开启设备。

（3）火灾：

a.立即关闭气源、电源，切断火源。

b.使用灭火器或其他消防设备进行灭火。

c.疏散操作区域人员，拨打火警电话报警。

4.操作结束后，进行以下工作：

（1）清理操作区域，确保无化学品残留。

（2）关闭所有设备，切断电源。

（3）填写操作记录，总结操作过程中的经验与教训。

（4）对设备进行检查，发现异常及时报告。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

（1）设备运行平稳，无异常振动和噪音。

（2）真空度达到预定值，且稳定在工艺要求的范围内。

（3）气体流量、压力、温度等参数符合工艺设定值，波动在允许范围内。

（4）设备各部件无泄漏现象，密封良好。

（5）控制系统运行正常，无报警信号。

2.异常现象识别：

（1）设备振动或噪音异常增大，可能存在机械故障。

（2）真空度下降或波动过大，可能存在泄漏或真空泵故障。

（3）气体流量、压力、温度等参数超出设定范围，可能存在气体供应问题或设备故障。

（4）设备出现泄漏，可能存在管道、阀门或密封件损坏。

（5）控制系统出现报警信号，可能存在传感器故障或程序错误。

3.状态监测方法：

（1）目视检查：定期观察设备外观，检查是否有异常磨损、泄漏等。

（2）听觉检查：通过听觉判断设备运行是否平稳，有无异常噪音。

（3）仪表监测：使用真空计、流量计、压力计、温度计等仪表实时监测设备参数。

（4）数据分析：对设备运行数据进行统计分析，及时发现异常趋势。

（5）定期维护：按照设备维护保养计划进行定期检查和维护，确保设备处于良好状态。

4.状态监控要求：

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