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电子静电管理ESD操作规范手册

前言

在电子制造业飞速发展的今天，静电放电（ESD）造成的危害日益凸显，它如同无形的杀手，时刻威胁着电子元器件的质量与可靠性。微小的静电电压，足以击穿精密的半导体器件，导致产品失效、性能下降或潜在故障，给生产企业带来巨大的经济损失和声誉影响。因此，建立一套系统、完善且切实可行的静电管理（ESD）操作规范，对于保障生产过程的稳定性、提升产品质量、降低生产成本具有至关重要的现实意义。本手册旨在为相关从业人员提供一套清晰、可操作的ESD防护指南，以期在日常工作中有效预防静电危害。

一、适用范围

本规范适用于公司内部所有涉及静电敏感器件（SSD）的生产、装配、测试、检验、存储、周转及运输等环节。所有在此范围内工作的人员，包括但不限于生产操作员、技术员、工程师、质量检验员、仓库管理员及外来参观人员，均需严格遵守本手册的规定。

二、术语与定义

1.静电放电（ESD）：处于不同静电电位的物体相互靠近或直接接触时，由于静电场的作用而引起的电荷转移现象。

2.静电敏感器件（SSD）：对静电放电敏感，容易因静电放电造成损坏或性能降级的电子元器件。

3.接地：将物体通过导体与大地连接，使物体的静电电位与大地保持一致，从而防止静电积累和放电。

4.防静电材料：具有良好导电性能或耗散静电性能，能有效抑制静电产生或迅速消除已产生静电的材料。

5.静电屏蔽：利用导电材料或导磁材料制成的屏蔽体，将需要防护的区域或物体与外界静电场隔离开来，防止静电感应。

6.离子化：利用离子发生器产生正负离子，中和物体表面的静电荷。

三、静电防护的基本原则

静电防护的核心在于控制静电的产生、积累和放电。具体应遵循以下基本原则：

1.接地原则：所有可能产生或积累静电的人员、设备、工具、物料都必须可靠接地，这是静电防护最根本、最重要的措施。

2.中和原则：在无法有效接地或绝缘材料表面带电的情况下，应采用离子化设备中和静电。

3.隔离原则：将静电敏感器件与可能产生静电危害的环境、设备、人员隔离开来，避免直接接触。

4.防护原则：使用防静电包装、防静电周转材料、防静电工作服等，为静电敏感器件提供直接的物理保护。

5.意识原则：加强全员静电防护意识培训，使每个人都认识到ESD的危害及防护的重要性，并自觉遵守防护规程。

四、操作规范

4.1工作环境的静电防护

1.温湿度控制：生产车间及库房的温湿度应控制在规定范围内。适宜的相对湿度有助于降低静电的产生和积累，通常建议在百分之四十至百分之六十之间。应配备温湿度监测设备，并定期记录。

2.地面防静电处理：生产区域地面应采用导电或防静电材料铺设，并与接地系统可靠连接。禁止使用普通塑料地板、地毯等易产生静电的材料。

3.工作台面防静电处理：操作台面应铺设防静电台垫，台垫需通过接地线与公共接地点连接。接地线应确保低阻抗通路。

4.座椅防静电处理：操作人员的座椅应采用防静电椅，椅面和靠背的防静电材料应与人体接地系统（如防静电手腕带）或地面接地系统相连。

5.空气离子化：在特定区域，如洁净车间或操作绝缘材料的工位，应根据需要安装合适的离子风扇或离子风枪等离子化设备，以中和空气中及物体表面的静电荷。离子化设备应定期进行性能检测。

4.2人员操作的静电防护

1.接地要求：

*操作人员在接触静电敏感器件前，必须通过防静电手腕带、防静电鞋具（配合防静电地面）等方式进行可靠接地。

*防静电手腕带应每天上岗前进行测试，确保其电阻值在规定范围内且连接良好。佩戴时应直接接触皮肤，不可隔着衣物。

*穿用防静电鞋时，应确保鞋底与防静电地面紧密接触，地面的接地系统有效。

2.着装要求：

*操作人员进入静电防护区（EPA）必须穿着防静电工作服、防静电帽。工作服应覆盖身体大部分，袖口应扣紧。

*禁止佩戴易产生静电的饰品，如塑料、金属手链、手表（除非为防静电手表）等。

*在EPA内，应穿着纯棉或防静电材质的内衣，避免穿着化纤类衣物。

3.操作要求：

*拿取静电敏感器件时，应拿取其非敏感区域或边缘部分，避免直接触摸引脚、芯片裸露部分。

*禁止在静电敏感器件上方快速移动物体，以免产生感应静电。

*禁止在未采取任何防护措施的情况下，将静电敏感器件放置在普通桌面、工作台或地面上。

*焊接、拆焊静电敏感器件时，电烙铁必须可靠接地，或使用防静电型电烙铁。

*避免对静电敏感器件进行不必要的摩擦、擦拭或晃动。

4.3设备与工具的静电防护

1.生产设备接地：所有与静电敏感器件接触的生产设备、检测仪器、自动化设备等金属部件必须可靠接地。设备的接地线应独立连接至公共接地系统，避免串联。

2.工具接地：电烙铁、真空吸笔