深度解析(2026)《GBT 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆》.pptxVIP

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2025-12-08 发布于广东
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深度解析(2026)《GBT 34177-2017光刻用石英玻璃晶圆》.pptx

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;目录;;芯片制造的“基石逻辑”：光刻用载体为何非石英玻璃莫属？;（二）标准的“身份价值”：GB/T34177-2017如何规范行业发展？;（三）核心定位解析：标准与光刻技术迭代的“协同关系”;;纯度“天花板”：标准对主成分与杂质的严苛限定;;（三）纯度检测的“权威方法”：标准指定的分析技术解析;;;标准规定晶圆平面度≤0.5μm，平行度≤0.1μm。光刻时，晶圆需与光刻镜头保持严格平行，平面度不佳会导致局部焦距偏差，使图案清晰度不均；平行度差则可能在光刻胶涂覆时出现厚度差异，最终影响芯片性能的一致性。;;;;（二）表面缺陷：标准明令禁止的“致命瑕