深度解析(2026)《GBT 34178-2017光掩模石英玻璃基板》.pptxVIP

;目录;;;光掩模基板的材质抉择：石英玻璃何以成为不二之选？;（二）标准制定的行业背景：为何急需统一光掩模基板的技术规范？;;;成分管控：石英玻璃纯度指标的设定依据与杂质危害解析;;（三）指标关联性：成分与性能的内在逻辑及标准的系统考量;;尺寸规格：不同型号基板的长宽厚公差要求与应用场景匹配;（二）平面度与平行度：微米级精度要求背后的光刻工艺需求解析;;;;;;;;（二）折射率均匀性：光学性能的核心指标与测试方法解析;;;;（二）耐化学性：对光刻胶、清洗剂的耐腐蚀要求与测试方法;;

七、检测方法是“标尺”：标准规定的试验流程为何能成为行业统一的质量评判依据？;