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大气压等离子体射流的分类与产生方式文献综述

射流装置的基础电极结构是等离子体产生方式和射流形态的决定因素。通过控制电极几何形状、其数目与种类的组合以及是否使用介质材料，现已对样式繁多的等离子体射流装置进行了研究。2008年，聂秋月科研组[3]所研究的一种双针电极氩气等离子体射流装置，设计出将加正弦电压的一个针电极的组合引入另一个悬浮的针电极的构造，进行研究实验发现，通过引入悬浮的针电极，能使等离子体放电更稳定，射流形成的长度更长。除了控制电极不同的几何形状外，进以对各类形状电极种类复合组合，等离子体射流从电极组成上大致确定为以下几种常用装置组类型：单/双环电极结构射流（a）、单针电极结构射流（b）、针-环电极结构射流（c）、针/环-板电极结构射流（d）。图1.1中分别绘出了如上几类典型放电装置的等离子体射流装置。

图1.1使用各组极板的等离子体射流结构示意图

Fig.1.1Schematicoftheplasmajetswithdifferentelcectrode

另外按照有无包含介质层，又可将使用装置划分出三类等离子体射流装置，分别为无介质电极射流（dielectric-freeelectrodejets）、介质阻挡放电射流（DBDjets）、类似介质阻挡放电射流（DBD-likejets）[4]。一定程度地引入介质材料的电极结构的等离子体射流是目前最为常见的射流装置。等离子体射流电极应用中存在介质层时，放电过程与无介质的射流相比更为稳定，因为介质层对于放电中演化为弧光放电的行为具有的明显的抑制效果。同时较小的输入功率决定了中性气体放电后温度低，对于处理温度敏感性材料更为适用。人们也通过尝试优化介质材料和改变装置电极结构，优化等离子体射流源来得到更可控、更有效的放电。2013年，HuJ.T.研究组[5]研究了单个悬浮针电极加入到环-板电极结构射流的影响，发现悬浮针电极在和环电极之间的放电，能使等离子体射流的触发电压下降较大幅度，同时还研究了不同介质层和金属材料组成的悬浮电极以及环电极和悬浮电极间距的尺度和产生射流的关系。钱沐杨[6,7]研究构建了一型双高压电极驱动等离子体射流，是由顶部的针电极、中部的环电极以及底部的平板电极构成的装置，平板电极、针电极接地，环电极上加上高压电压构成双高压电极，发现在相同电压的结果下，该类电极驱动相对于单针/环电极结构，放电过程更稳定，并且射流中产生较高的活性粒子氧原子的浓度。同时期，王尚民[8]新建了一型级联式三电极等离子体射流装置，由驱动电极、悬浮电极和接地电极共同构成，研究发现放电电压以及维持电压大大降低，而且射流的体积和横截面尺度明显增加。

对于激发和维持放电过程，根据的驱动电源的频率（从直流或直流脉冲到GHz）范围划分，等离子体射流又有几种类别：直流[9]或直流脉冲驱动等离子体射流[10-13]、交流驱动等离子体射流[14-16]、射频驱动等离子体射流[17-19]、微波驱动等离子体射流[20-25]。对各类驱动方式进行的实验研究显示，即使是有时在装置内的电极结构相同的情况下，但若各对照组的驱动方式不同，放电时产生的等离子体射流会出现显著的差异性。等离子体射流的驱动方式，在通过直流电源和微波电源驱动时，一般能使产生的等离子体密度高。然而这两种方式中气体温度不稳定，只适用于对气体温度不敏感的处理对象的情况。脉冲驱动等离子体射流相比交流驱动高等离子体射流，脉冲激发的射流的长度更长、电离率更高、气体温度更稳定（基本处于室温水平）、活性粒子更多、杀菌效果更好。因此，实际研究应用中，特别是面对温度敏感型处理对象，较多采用的是脉冲驱动形式。相比低频（kHz）驱动，射频驱动（MHz）能够产生高密度的等离子体射流，但是射流的长度短、气体温度高，使得射流不方便用来处理材料，尤其是温度敏感性材料。近些年在结合各驱动电源的优势的尝试后，脉冲调制、波形叠加等途径开始被引进装置设计用以控制等离子体射流。在此思路下，ZhouY.J.组[26]构建了一种双频率驱动射流装置，由顶部的针电极和底部的环电极构成，并在前后两个电极上各加频率为50kHz的低频正弦电压和频率为2MHz的射频正弦电压，结果发现这种条件下，该装置产生的等离子体射流同时具备低频驱动射流和射频驱动射流的优点，不但射流长度充分长而且等离子体密度高。正如上所述，优化射流装置的电极结构，或是充分利用不同的驱动方式，可以使得射流放电更加得稳定，粒子密度更高，射流长度更长。

即便如此，关于当下等离子体射流装置的已有设计中所产生的大多数等离子体射流，其径向尺寸人仍在几个毫米的大小。应用该级别尺度的射流对于某些特定的领域可以展现出特有的优势，例如，在生物医学领域，该类小尺寸等离子体射流能在特定的部位精确地与处理对