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大气压等离子体射流的分类及其动力学特性研究文献综述

从技术操作性的角度对气体放电种类划分为两种技术，分别是大气压等离子体放电和低气压等离子体放电，前者在大气压下的放电不需要昂贵的真空设备，从而有效优化控制了额外经济成本。由此出于经济考虑，近年来大气压等离子体射流在工业应用界愈加受到重视。我们已经知道经典的、最频繁被使用的大气压等离子体放电方法，是用平板电极进行放电所组成的放电装置。由帕邢定律可知，在一个大气压的气压条件的环境中，欲将气体达成击穿，二平板间的间距会被组建成至毫米到厘米量级。在这样量级的上，放电间隙空间的狭小明显限制了被处理材料的尺寸大小。同时，在处理材料的时候，等离子体放电区域内内置了处理材料，使得等离子体放电的模式、稳定性以及均匀性等都受到被处理材料形状、特性的影响。为了克服这些缺陷，人们设计了一种新型的大气压等离子体产生装置，即大气压等离子体射流。一定初速度下的工作气体（通常使用稀有气体，如氦气、氩气）从介质管的一端流入介质管内，之后从介质管的另一末端喷出，进入周围环境气体（一般情况下是空气）中。在电极加上激发电源，则放电首先在介质管内形成，然后在气流和空间电场的共同作用下，从介质管出口喷出在开放的环境气体中形成长度为几厘米甚至是十几厘米的大气压等离子体射流。

为了大致将大气压等离子体射流分类，根据应用中激发等离子体射流的气体种类、电极结构、驱动电源以及装置尺寸进行归类，并且从这些角度的研究，来优化大气压等离子体射流，使其能够更大程度地满足实际领域的需求。

1.1大气压等离子体射流的分类与产生方式

射流装置的基础电极结构是等离子体产生方式和射流形态的决定因素。通过控制电极几何形状、其数目与种类的组合以及是否使用介质材料，现已对样式繁多的等离子体射流装置进行了研究。2008年，聂秋月科研组[3]所研究的一种双针电极氩气等离子体射流装置，设计出将加正弦电压的一个针电极的组合引入另一个悬浮的针电极的构造，进行研究实验发现，通过引入悬浮的针电极，能使等离子体放电更稳定，射流形成的长度更长。除了控制电极不同的几何形状外，进以对各类形状电极种类复合组合，等离子体射流从电极组成上大致确定为以下几种常用装置组类型：单/双环电极结构射流（a）、单针电极结构射流（b）、针-环电极结构射流（c）、针/环-板电极结构射流（d）。图1.1中分别绘出了如上几类典型放电装置的等离子体射流装置。

图1.1使用各组极板的等离子体射流结构示意图

Fig.1.1Schematicoftheplasmajetswithdifferentelcectrode

另外按照有无包含介质层，又可将使用装置划分出三类等离子体射流装置，分别为无介质电极射流（dielectric-freeelectrodejets）、介质阻挡放电射流（DBDjets）、类似介质阻挡放电射流（DBD-likejets）[4]。一定程度地引入介质材料的电极结构的等离子体射流是目前最为常见的射流装置。等离子体射流电极应用中存在介质层时，放电过程与无介质的射流相比更为稳定，因为介质层对于放电中演化为弧光放电的行为具有的明显的抑制效果。同时较小的输入功率决定了中性气体放电后温度低，对于处理温度敏感性材料更为适用。人们也通过尝试优化介质材料和改变装置电极结构，优化等离子体射流源来得到更可控、更有效的放电。2013年，HuJ.T.研究组[5]研究了单个悬浮针电极加入到环-板电极结构射流的影响，发现悬浮针电极在和环电极之间的放电，能使等离子体射流的触发电压下降较大幅度，同时还研究了不同介质层和金属材料组成的悬浮电极以及环电极和悬浮电极间距的尺度和产生射流的关系。钱沐杨[6,7]研究构建了一型双高压电极驱动等离子体射流，是由顶部的针电极、中部的环电极以及底部的平板电极构成的装置，平板电极、针电极接地，环电极上加上高压电压构成双高压电极，发现在相同电压的结果下，该类电极驱动相对于单针/环电极结构，放电过程更稳定，并且射流中产生较高的活性粒子氧原子的浓度。同时期，王尚民[8]新建了一型级联式三电极等离子体射流装置，由驱动电极、悬浮电极和接地电极共同构成，研究发现放电电压以及维持电压大大降低，而且射流的体积和横截面尺度明显增加。

对于激发和维持放电过程，根据的驱动电源的频率（从直流或直流脉冲到GHz）范围划分，等离子体射流又有几种类别：直流[9]或直流脉冲驱动等离子体射流[10-13]、交流驱动等离子体射流[14-16]、射频驱动等离子体射流[17-19]、微波驱动等离子体射流[20-25]。对各类驱动方式进行的实验研究显示，即使是有时在装置内的电极结构相同的情况下，但若各对照组的驱动方式不同，放电时产生的等离子体射流会出现显著的差异性。等离子体射流的驱动方式，在通