CN105140395B 一种pn结二极管传感器及其制作方法和应用 （同济大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105140395B公告日2018.06.26

(21)申请号201510331288.5

(22)申请日2015.06.15

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105140395A

(43)申请公布日2015.12.09

(73)专利权人同济大学

地址200092上海市杨浦区四平路1239号

(72)发明人黄佳张郭骞刘大鹏

(74)专利代理机构上海科盛知识产权代理有限公司31225

代理人陈亮

(51)Int.CI.

HO1L51/05(2006.01)

HO1L51/40(2006.01)

GO1N27/00(2006.01)

(56)对比文件

JP特開2003-315299A,2003.11.06,US2015/0034907A1,2015.02.05,JP特開2009-42065A,2009.02.26,CN104576928A,2015.04.29,

TatsuyaYamamotoetal..Facile

SynthesisofHighly