微机电系统（MEMS）技术 MEMS 磁场传感器技术规范.pdfVIP

微机电系统（MEMS）技术MEMS磁场传感器技术规范

1范围

本文件规定了MEMS磁场传感器的术语和定义、分类、技术要求和试验方法。

本文件适用于线性MEMS磁场传感器的生产、使用、测试，其他类型磁场传感器可参照执行。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T2423.1-2008电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A：低温

GB/T2423.2-2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温

GB/T2423.4-2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Db：交变湿热

GB/T2423.5-2019环境试验第2部分:试验方法试验Ea和导则：冲击

GB/T2423.10-2019环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦）

GB/T2423.22-2012环境试验第2部分：试验方法试验N：温度变化

GB/T2900.60-2002电工术语电磁学

GB/T4937.26半导体器件机械和气候试验方