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《GBT+42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法》练习题试卷及参考答案.pdfVIP

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  • 2026-05-13 发布于浙江
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《GBT+42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法》练习题试卷及参考答案.pdf

    《GBT+42905-2023碳化硅外延层厚度的测试红外

    反射法》练习题试卷及参考答案

    一、单选题（每题2分，共15题，总计30分）

    1.GB/T42905-2023规定了利用什么方法测定碳化硅外延层厚度？

    A.激光散射法

    B.红外反射法

    C.X射线衍射法

    D.涡流法

    2.该标准规定的厚度适用范围是多少？

    A.1µm~100µm

    B.3µm~200µm

    C.5µm~500µm

    D.10µm~1000µm

    3.该方法基于什么原理来测量厚度？

    A.衬底与外延层光学常数差异引起的干涉光谱特征

    B.

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