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迟亚海周元超
四川交通职业技术学院四川省成都市611130
摘要：MEMS是一种新型的技术手段，在当前生产行业有着广泛的应用：针对汽车传感器设计的MEMS技术取
得了很大的发展成效，将汽车传感器行业的提
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