CN119845177A 晶圆的翘曲度和弯曲度检测系统及其检测方法 （恒迈光学精密机械(杭州)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119845177A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510317282.6

(22)申请日2025.03.18

(71)申请人恒迈光学精密机械（杭州）有限公司

地址310000浙江省杭州市富阳区春江街

道江南路68号第23幢201室

(72)发明人黄一凡李梁玮罗粤浩余鑫巍

(74)专利代理机构杭州五洲普华专利代理事务

所(特殊普通合伙)33260

专利代理师徐晶晶

(51)Int.Cl.

G01B11/16(2006.01)

G01B11/24(2006.01)

G01B9/02015(2022.01)

H01L21