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- 2026-05-24 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119833452A
(43)申请公布日2025.04.15
(21)申请号202510314832.9
(22)申请日2025.03.18
(71)申请人华海清科股份有限公司
地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴
道11号
(72)发明人马钰皓曹自立李长坤郭薇
高庆刚
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
B24B37/34(2012.01)
B24B55/06(2006.01)
权利要求书2页说明书10页附图11页
(54)发明名称
晶圆后处理装置和方法
(57)摘
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