水下流场传感器研发进展：柔性复合材料与工艺路线.pptxVIP

PI柱SEM观察刘梦洋智能仿生与微纳系统研究所2018.06.10

总体研究目标：水下流场传感器1.柔性复合材料传感器流场感知（动压、静压、流速）原理、结构设计和材料选择（性能指标、耐腐蚀）2.传感器的制造与组装3.传感器水下测试

近期工作计划1.G/PI压阻阵列(1)压阻阵列可行性尝试(2)压阻阵列工艺确定(3)压阻阵列工艺制造，设计测试电路进行压力分布测试2.水下流场传感器方案的提出(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试(2)流场感知传感器工艺设计(3)流场传感器制造调试

本周主要进展及存在问题1.水下流场传感器工艺路线

本周主要进展及存在问题1.水下流场传感器工艺路线a:玻璃片上旋涂PDMS，3000r/min30s。b:将25mm厚的PI薄膜平铺在PDMS上，120℃15min固化PDMS。c:旋涂2.5mm厚的BP212正胶，曝光10s，显影生成直径为50mm的柱子掩膜。d:RIE刻蚀，氧气流量为100sccm，功率150W，高阀阀位25%，压力值46mTorr，刻蚀5min，用酒精除胶后，形成高度为5mm的圆锥PI微结构。酒精超声清洗。e:用物理掩膜溅射底部Cr/Au电极。功率150W，时间2+8min。f:亲水Plasma5min,旋涂G/PVDF溶液，厚度约10mm。120℃固化1