硅基新材料行业市场分析.pdfVIP

硅基新材料行业市场分析

含硅特气

四氯化硅可作为电子特气，也是光纤预制棒、气凝胶等产品原材料

四氯化硅按纯度可以分为工业级四氯化硅与高纯四氯化硅，高纯四氯

化硅是光纤通讯、集成电路、气凝胶制造产不可或缺的基础原材料,

按照下游需求可以分为半导体级V（AD级、OVD级、PCVD级等）

四氯化硅和电子级四氯化硅。

半导体级四氯化硅主要用于产光纤预制棒；电子级四氯化硅是一种

高端半导体用电子化学品，主要用于薄膜沉积与蚀刻上艺，随着半导

体制程的先进化，电子级四氯化硅被使用于逻辑芯片与存储芯片等领

域，目前主要依靠进口。

高纯四氯化硅也可用于产正硅酸乙酯（TEOS）,高纯正硅酸乙酯

是气凝胶主要原料；电子级正硅酸乙酯主要用于集成电路制造过程中

的化学气相沉积C（VD）薄膜制程。目前工业合成正硅酸乙酯的方法

主要为四氯化硅法、硅粉法，工业级TE