CN119678087A 用于稳定光学组件的粘合连接部的方法、光学组件和用于半导体光刻的投射曝光设备 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119678087A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202380058386.9

(22)申请日2023.07.26

(30)优先权数据

102022208206.02022.08.08DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0706602023.07.26

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/033083DE2024.02.15

(71)申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨