CN119678085A 一种浸没物镜、光学系统及检测方法 （深圳华大智造科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119678085A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202280099185.9

(22)申请日2022.10.27

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.17

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/CN2022/1278152022.10.27

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/087080ZH2024.05.02

(71)申请人深圳华大智造科技股份有限公司

地址518083广东省深圳市盐田区北山工

业区综合楼及11栋2楼

(72)发明人黄怡