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光刻胶匀涂机防静电压盘检查作业指导书

一、检查前准备工作

（一）人员资质要求

进行光刻胶匀涂机防静电压盘检查的操作人员，必须具备半导体制造设备操作的基础资质，通过设备安全操作培训并考核合格，熟悉光刻胶匀涂机的基本结构、工作原理以及防静电相关知识。操作人员需穿戴符合半导体车间洁净标准的防静电工作服、防静电手套、防静电鞋，确保自身静电不会对检查过程及设备造成干扰。

（二）工具与材料准备

专业检测仪器：准备高精度静电电位测试仪，其测量范围应覆盖-20kV至+20kV，精度需达到±1%，以确保能够准确测量压盘表面及周边区域的静电电位。同时，准备表面电阻测试仪，用于检测压盘表面的防静电涂层电阻值，测量范围需满足10^6Ω至10^11Ω的防静电标准要求。

辅助工具：准备无尘擦拭布、防静电镊子、绝缘螺丝刀等工具，用于在检查过程中对压盘表面进行清洁、对相关部件进行轻微调整或拆卸检查。此外，还需准备防静电警示标识牌，在检查作业开始前放置在设备周边，提醒其他人员设备正在进行检查作业，避免误操作。

记录材料：准备专门的检查记录表格，表格应包含检查日期、检查人员、设备编号、检查项目、测量数据、异常情况描述及处理措施等内容，以便对检查过程及结果进行详细记录。同时，准备签字笔或电子记录设备，确保记录信息的准确性和及时性。

（三）设备状态确认

在开始检查前，需确认光刻胶匀涂机处于停机状态，且已切断设备的主电源，