CN119671958A 一种基于线阵相机的晶圆检测方法、图像拼接方法及设备 （京城中安半导体(北京)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119671958A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411719664.3

(22)申请日2024.11.27

(71)申请人京城中安半导体（北京）有限公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发

区永昌北路7号

(72)发明人薛小杰杨开轩代红兵田宇飞薛坤

(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限

公司11505

专利代理师秦卫中

(51)Int.Cl.

G06T7/00(2017.01)

G06T7/70(2017.01)

G06T7/62(2017.01)

G06T3/4038(2024.01)

权利要求书2页说明书14页附图5页

(54)发明名称

一种基于线阵相机的晶圆检测方法、图像拼

接方法及设备

(57)摘要

CN119671958A本申请提供了一种基于线阵相机的晶圆检测方法、图像拼接方法及设备，包括：控制待检测晶圆按照螺旋线轨迹进行移动。在待检测晶圆移动的过程中，利用线阵相机对待检测晶圆进行图像采集，得到线阵相机输出的多张行图像。基于线阵相机输出的多张行图像进行图像拼接，确定晶圆图像。从而可以基于晶圆图像对待检测晶圆进行检测。通过该方法，可以控制待检测晶圆按照螺旋线轨迹移动，从而使得线阵相机