CN119736577A 一种二维金属氮化物薄膜及其制备、转移方法 （中国科学技术大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119736577A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411935880.1

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人中国科学技术大学

地址230026安徽省合肥市金寨路96号

(72)发明人王鸿石樊帆李德虎

(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所

(普通合伙)32204

专利代理师柏尚春

(51)Int.Cl.

C23C14/06(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

C23C14/54(2006.01)

C23C14/58(2006.01)