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CN119673869A 一种硅通孔的制备方法和硅通孔结构 （北京大学）.docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于山西
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CN119673869A 一种硅通孔的制备方法和硅通孔结构 （北京大学）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119673869A

    (43)申请公布日2025.03.21

    (21)申请号202510186727.1

    (22)申请日2025.02.20

    (71)申请人北京大学

    地址100000北京市海淀区颐和园路5号

    (72)发明人陈浪王玮张弛

    (74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司11319

    专利代理师陈宏

    (51)Int.Cl.

    H01L21/768(2006.01)

    H01L23/538(2006.01)

    权利要求书1页说明书7页附图2页

    (54)发明名称

    一种

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