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- 2026-06-09 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119673924A
(43)申请公布日2025.03.21
(21)申请号202311212634.9
(22)申请日2023.09.19
(71)申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址201203上海市浦东新区中国(上海)
自由贸易试验区张江路18号
(72)发明人尹悦神兆旭吕晶晶
(74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31327
专利代理师高静
(51)Int.Cl.
H01L23/64(2006.01)
H01L23/522(2006
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