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T∕CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨.docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于河北
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T∕CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨.docx

    ICS31.030CCSQ51

    团体标准

    T/CASAS068—2026

    碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

    Isotropicporousgraphiteforsiliconcarbidewafermanufacturing

    2026-05-06发布2026-05-06实施

    第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

    T/CASAS068—2026

    I

    目次

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    引言 III

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