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洁净工作台运维方案.docx

洁净工作台运维方案.docx

    洁净工作台运维方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、编制范围 5

    三、设备组成 6

    四、工作原理 10

    五、运维目标 11

    六、岗位职责 14

    七、运行环境要求 16

    八、开机前检查 18

    九、日常运行管理 21

    十、风速监测 22

    十一、洁净度监测 25

    十二、压差监测 26

    十三、温湿度监测 28

    十四、照度监测 30

    十五、过滤器维护 32

    十六、紫外装置维护 34

    十七、表面清洁消毒 36

    十八、耗材管理 38

    十九、巡检安排 41

    二十、校准管理 43

    二十一、故障

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