原创力文档ICS31.030CCSQ51
团体标准
T/CASAS068—2026
碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨
Isotropicporousgraphiteforsiliconcarbidewafermanufacturing
2026-05-06发布2026-05-06实施
第三代半导体产业技术创新战略联盟发布
T/CASAS068—2026
I
目次
前言 II
引言 III
1范围
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