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CN119673797A 一种晶圆表面物质的收集方法及装置 （格科半导体(上海)有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于山西
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CN119673797A 一种晶圆表面物质的收集方法及装置 （格科半导体(上海)有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119673797A

    (43)申请公布日2025.03.21

    (21)申请号202311213815.3

    (22)申请日2023.09.19

    (71)申请人格科半导体（上海）有限公司

    地址201306上海市浦东新区自由贸易试

    验区临港新片区新元南路198号

    (72)发明人王春伟黄达辉姚敏钰罗李斌

    (74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

    公司31323

    专利代理师王振徐雯琼

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    H01L21/683(200

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