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CN119673891A 铜互连用扩散阻挡层、铜互连结构及其制备方法 （青岛澳柯玛云联信息技术有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于山西
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CN119673891A 铜互连用扩散阻挡层、铜互连结构及其制备方法 （青岛澳柯玛云联信息技术有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119673891A

    (43)申请公布日2025.03.21

    (21)申请号202311212204.7

    (22)申请日2023.09.19

    (71)申请人青岛澳柯玛云联信息技术有限公司

    地址266000山东省青岛市黄岛区太行山

    路2号

    (72)发明人请求不公布姓名

    (74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

    专利代理师贺妮妮

    (51)Int.Cl.

    H01L23/48(2006.01)

    H01L21/768(2006.01)

    权利要求书1页说明书6页附图2页

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