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CN119673764A 一种t型栅及改善t型栅栅帽底部边缘形貌的方法 （中国科学院微电子研究所）.docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于山西
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CN119673764A 一种t型栅及改善t型栅栅帽底部边缘形貌的方法 （中国科学院微电子研究所）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119673764A

    (43)申请公布日2025.03.21

    (21)申请号202311198280.7

    (22)申请日2023.09.18

    (71)申请人中国科学院微电子研究所

    地址100029北京市朝阳区北土城西路3号

    (72)发明人武伟超魏珂张睿哲王建超何晓强张昇张一川吴嵩

    (74)专利代理机构北京天达知识产权代理事务所有限公司11386

    专利代理师赵洋洋

    (51)Int.Cl.

    H01L21/28(2025.01)

    H10D64/27(2025.

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