CN119673849A 用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置 (北京日扬弘创智能装备有限公司).docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于山西
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CN119673849A 用于晶圆设备视觉定位的系统、方法及装置 (北京日扬弘创智能装备有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119673849A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510187322.X

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人北京日扬弘创智能装备有限公司

地址100000北京市大兴区青云店镇青正

街8号546室平房(集群注册)

(72)发明人关仁杰张永涛杨朔葛成重赵海荣

(74)专利代理机构北京科智兴企知识产权代理

有限公司16275

专利代理师未立清

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

H04N23/51(202

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