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文件名：清洗及甩干工序操作规范及注意事项
文件号：培训文件-X
版本号：0 页数：12
发布日期：2007-4-20 编制: 审核: 批准：
Quality is the conformance to standards.
质量是完全符合相应的标准。
When our product meets the requirement of the standard set， it is of good quality and our product can be use for it’s intended function.
当我们的产品完全符合标准，也就是确保了质量得到了保证；在质量得到保证的条件下，我们就能满足产品性能和可靠性的要求。
清洗及甩干工序操作规范及注意事项
目的：清除硅片表面残留Na2SiO3和SiO2层以及清除硅片表面的金属杂质
适用：125S/156S HYB-8000TB 全自动硅片清洗机
操作规范:
一、操作前准备工作：
1. 正确穿戴方法及要求
2．生产前工夹具的准备
具要求：承载盒、花篮，清洗小推车。（见下图
承载盒 花篮 清洗小推车
3. 确认清洗机的设备运行状态，电源，氮气，压缩空气，纯水，是否正常
电 气 水
4. 设备显示屏，有料、无料与实物是否一致，然后将清洗机在手动状态复位，观察机械臂和槽盖是否在原位
手动复位 运行状态显示
5. 确认清洗机工艺步骤，并将手动状态设为自动状态运行
将手动切换为自动 按下运行按钮
6．装满硅片承载盒的搬运：
拿取装满硅片的承载盒时要1只手拿1盒，禁止一手拿2盒。
1只手拿1盒 2只手拿2盒
二、操作要求及步骤：
（一）来料检查：
检查装在承载盒内的硅片是否合格（目测：有无缺边缺角现象，有无裂纹，有无少片现象。）
图片
（二）清洗机上料：
1、检查清洗框的状态（有无破损，破损的绝不能用）：
2.把制绒后装满硅片的承载盒整齐的摆放在清洗花篮内
3、把装满待清洗硅片的花篮推至上料感应器处，等待自动上料：
4、上料后等待清洗机自动下料（设备在运行时甩干人员必须密切关注清洗机的运行状态，以防意外发生。观察液位和液的纯度）
5、清洗机自动下料后，带好一次性手套把清洗完的硅片用小推车运至甩干机旁；
6. 确认甩干机的设备运行状态，电源，氮气，压缩空气，纯水，是否正常
7.确认甩干机工艺参数是否正常；
8、打开甩干机盖子；
9、把待甩干的硅片放入甩干机内（甩干前检查硅片是否清洗干净，承载盒需对称放置）；
10、确定摆放正确后关盖（双手同时按住红钮不放直到盖子完全关闭为止）；启动甩干机（按一下绿色启动按钮即可）；
11、甩干启动后把空的花篮推至清洗上料，等待下一循环并关注清洗机的运行状态；
12、把空花篮放到上料台并装入待清洗硅片开始下一次的循环；
13、等待甩干机自动运行完毕报警后甩干完毕（红灯亮，报警表示运行完毕）；
14、更换新的一次性的手套，打开甩干机盖，并取出甩干好的片子；
15、取出甩干的硅片进行检查（发现绒面不合格有雨珠的必须由工艺确认返工或流出）；
16、把甩干后的硅片整齐的摆在传递窗内；
17、填写工序流程卡和操作记录并放入传递窗内（保证卡物一致，重复以上步骤）；
（三）外观检验（甩干后目检）：
不合格如下：
绒面色斑
表面发白
雨点过多
（以上任何一项不合格，必须通知工艺处理)
（四）操作注意事项：
1、操作前确认清洗机液位状况（3槽和6槽），过程中注意8槽喷淋状况；
2、设备的门窗在工艺运行时必须保持关闭；
3、清洗机下料台的硅片不得长时间暴露在空气中
4、交接班时HF、HCL、喷淋槽、甩干机腔内严禁放置硅片
5、根据换液记录，定期更换HF、HCL
6、空余时间必须密切关注清洗机的运
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