微细电火花加工技术的研究.pdfVIP

微细电火花加工技术研究 李勇郭曼王显军严晓敏胡敏 消华人学精密仪器与机械学系 北京市海淀区清华园100084 摘要：本文内容包括微细电火花加j：装置的开发和加：[工艺技术研究。在开发出由蠕动式微进 给机构、微小能鼙放电电源、微小电极线放电磨削制作机构、精密旋转主轴头、加．1：状态检测 与控制系统等构成的微细电火花加上装置的基础上，探讨了微细电火花加工微小轴([具电 极)、高深宽比微小孔以及三维结构成型等的]：艺方法。 关键词：微细电火花加‘1_=，蠕动式微进给机构，微小轴，微小孔，微亚!机械 1前言 1E是制造技术的进步及相关基础技术的成熟，导致了微型机电系统(MEMs)，微型机械技术 领域的崛起发展。砖微细加f：、LIGAr艺、微细电火花加f．：以及光成型等微细加．f：技术的研究 开发一直是微耍!机LH系统／微型机械领域的主要研究课题。迄今各种微细加J二技术在批量制作、 与电路集成、高深宽比和三维成型加J二等方面各具长短，适于微型致动器乃至微孤!机器人制作 的加l：技术亟待开发。 电火花加J：由丁’其非接触加l一的特点，作为一种有前途的微型机械制造方法引人注目。曰 本尔京火学率先开发出微小Lb极线放电磨削C艺”，为实现微细电火花加r：解决了关键的技术 课题，并在微细屯火花加川：艺方面进行了成功的研究开发。 以研究开发适丁微型致动器乃至微型机器人制作的微型机械制造技术为目的，近年来我们 选择了微细电火花加|I：技术的研究。本研究基丁-微细电火花加工实川化着”装置本身微小删化的 考虑，首先研究开发出一种采州蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置，在此基础上进行了 微细电火花加J：微小轴(一l：具Ll；}极)、高深宽比微小孔以及三维结构成型等的1．艺方法研究。 2微细电火花加工装置 实现微细电火花加I：的关键在于微小电极的在线制作、电极的精密伺服进给、放电能苟的 微小化、以及加f‘状态的检洲控制等。研制的微细电火花加～i：装置的构成如幽1所示，主要包 括蠕动式微进给机构、微小电极线放电磨削制作机构、精密旋转士轴头、微小能赞放电电源、 加I．状态检测电路、控制坩计算机以及相关驱动控制Lb路等。 该微细电火花加}：装置采州精密旋转主轴头与线放电磨削走丝机构相结合的制作微小轴 (1．贝I乜极)的方法，其原理如幽2所示。被加l：轴(I：具电极)的成型通过土轴的进给和旋 转运动以及线放l也磨削丝的移动实现，丝线的移动实时补偿其放电加l‘所致的直径损lE，而走 丝导块保证丝线平¨被加L辅之问的径向位置。电极夹头与主轴头的联接部没计为电绝缘，线放 电磨}驯机构的导丝部分采川了陶瓷笱绝缘J={：】仆，以减小分布电容的影响。 微小能蟮放电L乜源采}IjRc脉冲式，以简单有效地实现微小能姑的放电加f：。采_【}j平均充放 }也电流进行加2：状态的检测，电流值经检测同路反馈至控制州计算机，州丁识别加1．状态处1 止常加1+、短路或开路，从而控制微进给机构的伺服进给运动，保持最佳加l：状态。 830 l、 剧I微细也火花加J：装置构成 圈2微小电极线放电磨削制作原理 b) 幽3微进给机构的步进运动 微细电火花加J：在【也极进给方向要求具有更精密的伺服进给控制。乐电／电致伸缩蠕动进 给结构具有在高{市移分辨率的基础上实现人的位移行科的特点，作为微细电火花加一r的精密伺 服进给机年句具有特殊的魅力。所研制的蠕动式微进给机构由沿轴向配苴的剧筒状压电／电致伸 缩傲动什、两端的径向箝忙夹紧机十句和导向㈣定什、以及进给驱动土轴和预紧弹簧等构成”。 通过采埘电馓致动的柔性铰链构成的周向分布式杠杆箝何机构提高箝伉夹紧力，导向捌定件提 高轴向刚度平¨导向精度。位移行程仅取；尖丁土轴白身的艮皮，主轴的止反向运动由上F夹紧筘 化机构年¨乐电／电致伸缩致动什的动作控制顺序决定，进给速度可通过政变加丁致动什的电乐 波形以及箱位夹紧动作频率调红。 控制加丁主致动仆