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先进制造技术论文

题目

离子注入与气相沉积

学院

机械交通学院

专业

机械设计制造及其自动化

班级

机制072班

姓名

樊杰

学号

073731298

指导教师

刘小勇

职称

教授

2010年12月10日

离子注入与气相沉积

前言：

表面工程技术是通过运用各种物理、化学或机械工艺过程，来改变基本表面状态、化学成分、组织结构和应力状态等，是基本表面具有不同的某种特殊性能，从而达到特定使用要求的一项应用技术。随着电子束、离子束、激光束技术达到实用化并进入材料表面加工技术领域，极大地促进、丰富和发展了表面技术。表面工程技术在促进高技术进步，节约原料，提高新产品性能，延长产品使用寿命，装饰环境，美化生活方面发挥了越来越突出的作用。

表面工程具有科学的综合性、手段的多样性、广泛的功能性、潜在的创新型、环境的保护性、很强的实用性和巨大的增效性，它不仅用于维修业，还用于制造业，是先进制造技术的重要组成部分。

这里进介绍离子注入与气相沉积技术。

1离子注入

1.1什么是离子注入

以高能离子束注入基材内的近表面区，以改变表面性能的过程。当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这个现象叫做溅射；而当离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射；另外有一种现象是，离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中，这一现象就叫做离子注入。

1.2离子注入的原理

离子注入技术又是近30年来在国际上蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性高新技术。其基本原理是：用能量为100keV量级的离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能。此项高新技术由于其独特而突出的优点，已经在半导体材料掺杂，金属、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上获得了极为广泛的应用，取得了巨大的经济效益和社会效益。

等离子体基离子注入PBⅡ装置示意图

1.3离子注入机的设备

离子注入是在一种叫做离子注入机的设备上进行的。离子注入机是由于半导体材料的掺杂需要而于上世纪60年代问世。虽然有一些不同的类型，但它们一般都由以下几个主要部分组成：

（1）离子源，用于产生和引出某种元素的离子束，这是离子注入机的源头；

（2）加速器，对离子源引出的离子束进行加速，使其达到所需的能量；

（3）离子束的质量分析（离子种类的选择）；

（4）离子束的约束与控制；

（5）靶室；

（6）真空系统。非半导体材料的离子注入表面改性

1.4离子注入的优点

作为一种材料表面工程技术，离子注入技术具有以下一些其它常规表面处理技术难以达到的独特优点：

（1）它是一种纯净的无公害的表面处理技术；

（2）无需热激活，无需在高温环境下进行，因而不会改变工件的外形尺寸和表面光洁度；

（3）离子注入层由离子束与基体表面发生一系列物理和化学相互作用而形成的一个新表面层，它与基体之间不存在剥落问题；

（4）离子注入后无需再进行机械加工和热处理。

1.5离子注入的应用领域

这项高新表面处理技术的优越性、实用性及其广阔的市场前景已被越来越多的部门和单位所赏识，得到越来越广泛的应用。根据多年来的研究与开发，同时借鉴近年来国际上的新进展，

(1)金属切削工具(包括各种用于精密加工和数控加工中使用的钻、铣、车、磨等工具和硬质合金工具)，一般可以提高使用寿命3-10倍；

(2)热挤压和注塑模具，可使能耗降低20%左右，延长使用寿命10倍左右；

(3)精密运动耦合部件，如抽气泵定子和转子，陀螺仪的凸轮和卡板，活塞、轴承、齿轮、涡轮涡杆等，可大幅度地降低摩擦系数，提高耐磨性和耐蚀性，延长使用寿命最多可以达到100倍以上；

(4)挤压合成纤维和光导纤维的精密喷嘴，可以大大提高其抗磨蚀性和使用寿命；

(5)半导体工业中的精密模具，罐头工业中的压印和冲压模具等，可显著提高这些贵重、精密模具的工作寿命；

(6)医用矫形修复部件(如钛合金人工关节)和手术器具等，其经济效益和社会效益非常好。

2气相沉积

气象沉积技术是近30年来迅速发展的一中表面制膜新技术，它是利用气相之间的反应，在各种材料表面沉积单层或多层薄膜，从而是材料获得所需的各种优异性能。气相沉积技术可以分为物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。

2.1物理气相沉积

物理气相沉积(PhysicalVapor