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本发明公开了一种束流检测装置，该束流检测装置与真空腔的腔壁固定，腔壁上设置有平行排列的多个第一通孔，束流检测装置包括：多个平行间隔设置、且固定于该大气侧的法拉第杯，每个法拉第杯的杯体与该大气侧相接触的表面是绝缘的，每个法拉第杯设置了用于接收束流的导电部，法拉第杯均位于磁场中且该磁场用于使待检测束流中的电子在绕行磁力线的过程中撞击该腔壁。本发明采用了固定式束流检测方式，通过多个沿长边方向排列的法拉第杯来获得束流长边方向上的采样点的电流值，从而得到束流的各项参数，由此避免了移动式束流检测装置在检测大
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108615666A
(43)申请公布日
2018.10.02
(21)申请号20161
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