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用于图像检查装置的样品边缘检测和样品定位的方法和系统.pdfVIP

用于图像检查装置的样品边缘检测和样品定位的方法和系统.pdf

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    用于检测被定位的样品的位置的系统、装置和方法可以包括：静电保持器，该静电保持器被配置为保持样品并且当该静电保持器保持样品时在样品的外侧边缘与该静电保持器的结构之间形成间隙区域，其中间隙区域涂覆有第一涂层，该第一涂层被配置为反射具有第一亮度的第一波长的光并且反射具有第二亮度的第二波长的光，第一波长在预定波长范围内，第二波长在预定波长范围外，并且第一亮度高于第二亮度；光源，其被配置为将光引导到间隙区域；以及光学检测器，其被配置为对从间隙区域反射的光进行成像。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117916669A

    (43)申请公布日2024.04.19

    (21)申请号202280059193.0(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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