第四章-表面粗糙度及表面微观形貌测量.pptVIP

第四章表面粗糙度及

表面微观形貌测量主要内容引例表面粗糙度的定义表面几何形状误差表面微观形貌测量的意义(P93)表面微观形貌的评价参数：表面粗糙度轮廓算术平均偏差Ra微观不平度10点高度Rz轮廓最大高度Ry轮廓微观不平度平均间距Sm轮廓的单峰平均间距S表面粗糙度的选用表面粗糙度的标注表面粗糙度图样上的标注方法§1表面粗糙度的常规测量方法二、光切法2、双管显微镜三、干涉法及干涉显微镜四、触针法（针描法）2、电动轮廓仪台式电动轮廓仪的结构五、印模法§2表面轮廓的非接触测量方法1、激光三角法探针三角法粗糙度探头光学原理一维位置探测器原理示意图

2、临界角法探针临界角法探针实际系统＊二、外差（双频激光）干涉式轮廓测量三、激光数字散斑轮廓测量§3纳米表面形貌分析扫描方式1——恒电流模式扫描方式2——恒高度模式与其他表面分析技术相比，STM具有以下特点：二、原子力显微镜AFM：AFM两个比较关键的技术1、AFM的工作模式AFM工作模式：接触模式的AFM原理非接触模式的AFM原理2．AFM力传感器的发展（了解）AFM力传感器研究的主要问题3．AFM微悬臂弯曲的检测方式2)电容法3)光学干涉法4)光反射法5)压敏电阻法4．AFM的发展及扫描探针显微镜SPM三、扫描近场光学显微镜(SNOM)SNOM实验基础图4—26SNOM的实验装置§4膜层厚度的测量膜层厚度的测量方法一、光电极值法2）变角度光电极值法三、干涉法把工作在短程力模式下的AFM称为接触模式AFM把工作在长程力方式下的AFM称为非接触模式AFM点拍式AFM：用于克服接触式和非接触式的一些缺陷AFM工作在不同模式，原理也不同。通过扫描时控制排斥力恒定，悬臂探针(力传感器)将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而垂直于样品的表面方向起伏运动(梁弯曲变动)。利用梁弯曲变动的检测器检测悬臂梁探针对应于扫描各点的位置变化，来获得样品表面态的信息。x-y扫描由悬臂探针起伏运动(z)控制排斥力恒定检测排斥力由悬臂探针的起伏运动来获得样品表面态的信息保持排斥力恒定，检测悬臂梁探针的位置变化获得样品表面态的信息原理：将悬臂梁在接近其固有频率处激振，当探针接近样品凸起部位表面时，由于样品对悬臂探针产生吸附力，因而使悬臂梁的力弹性常数明显软化，结果引起固有频率减小，其振幅减小；反之如扫描经过凹陷部位时，其振幅增大。检测探针针尖的振动情况的变化而改变加在垂直Z向压电晶体上的电压，通过反馈控制，保持其振幅恒定，用驱动电压变化可表征被测表面态的信息反馈控制：检测探针针尖的振动情况的变化而改变加在垂直Z向压电晶体上的电压，从而使振幅保持恒定，用驱动电压变化来表征被测表面态的信息。保持振幅恒定，用驱动电压变化来表征被测表面态的信息点拍式AFM克服接触模式AFM存在横向力和非接触模式AFM分辨率相对比较低的缺点。目的：方式：它与非接触模式AFM一样，在固有频率附近激振悬臂梁，只是激振的振幅要大一些，以固定的振幅激振，保持每个振动周期探针与样品接触，由于样品的阻挡使振幅减小，扫描时，悬臂梁振幅的变化就反映了样品的表面形貌。检测悬臂梁振幅的变化可反映了样品的表面形貌。第一阶段(1986—1987年)的力传感器多为手工操作，无法进行参数和形状的优化选择。第一台AFM使用的力传感器是在一片金箔上粘一块金刚石构成。第二个阶段(1987—1989年)为微机械加工制作的二氧化硅或氮化硅悬臂梁，悬臂梁的尺寸可很好地控制，并且表面光滑，但还缺乏探针，常粘贴金刚石碎片为探针或以V形悬臂梁尖端为探针，但只有少数悬臂梁(约20％)尖端适合于用作探针，还限于表面较平整的样品。第三阶段(1989年一今)为集成了探针的悬臂梁AFM力传感器，初期开发了氮化硅悬臂集成件作为AFM力传感器。第四个阶段(1991年一今)则是将集成AFM力传感器和悬臂梁形变检测器集成在一起。力传感器的材料：主要是硅材料；悬臂梁尺寸：长度主要集中在100一1000um之间，厚度在0.6—10um之间，结构以V形和长形为主流；探针高度：主要在1—10um之间，针尖半径5—50um，探针针形：金字塔形、三棱椎形、圆锥形，而圆锥形更有潜力；力传感器反射表面要求：要有光洁，以适应悬臂粱形变的主要