溶胶-凝胶光学薄膜的激光损伤研究.doc

　第15卷　第5期 　2003年5月强激光与粒子束HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMSVol.15,No.5　May,2003　文章编号:　100124322(2003)0520439205 溶胶-凝胶光学薄膜的激光损伤研究3 杨　帆,沈　军,吴广明,王　珊,肖轶群,孙　骐,张志华,付　甜,王　珏 (同济大学波耳固体物理研究所,上海200092) μm,脉宽15ns的电光调　　摘　要:　采用溶胶2凝胶工艺制备了SiO2与ZrO2单层介质膜,用输出波长1.06 Q激光系统产生的强激光进行辐照实验。观察了光学薄膜经强激光辐照后的损伤情况,讨论了溶胶2凝胶光学薄膜在强激光照射下的损伤机理,提出了溶剂替换、紫外光处理、添加有机粘接剂等提高溶胶2凝胶光学薄膜激光损伤阈值的方法。 　　关键词:　溶胶2凝胶法;激光损伤阈值;溶剂替换;紫外光处理;有机粘接剂 　　中图分类号:　TN241;O484.4　　　　文献标识码:　 A ? 1995-2005 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 440　　　　　　　　　　　强激光与粒子束　　　　　　　　　　　　　　　　　第15 卷 XPS-BM-6)观察。 2　实验结果及讨论 2.1　薄膜激光损伤概述 　　光学薄膜的激光损伤是一个重要而复杂的问题。它不仅涉及薄膜本身的结构、损耗、折射率、热物性、膜内 的杂质和缺陷等特性,而且与激光的波长、脉宽、焦斑大小等密切相关。　　损伤过程起始于样品吸收入射激光束的能量,这是入射光波与材料之间的一种强烈的相互作用。然后,吸收的能量通过热传导作用或材料热特性所支配的某些其他过程,从隔离的损伤区迁移出去。最后,如果辐射能的吸收速率高于吸收能的扩散速率,而且达到临界热量时,样品则发生损伤现象。尽管激光致损伤是一个非常复杂的过程,但是可以将其看成是这三种基本机理的综合。由于激光损伤中的高辐射强度,这三种过程既不是顺序发生的也不是独立的。2.2　薄膜激光损伤阈值 　　通过激光损伤实验测得11块样品的损伤阈值,如表1所示(为便于比较,所有损伤阈值均已折算为脉宽1ns的数值)。 表1　SiO2薄膜与ZrO2薄膜激光损伤阈值测试结果 Table1　LaserinduceddamagethresholdsofSiO2thinfilmandZrO2thinfilm samplenumberthinfilmexperimentalcondition (-2) 1SiO2base23 2SiO2base24 3SiO2acid21 4SiO2acid21 5SiO2two2step21 6SiO2base23 7ZrO213.5 8ZrO212 9ZrO2PVP29 10ZrO2PVP29 11ZrO2PVP29 noPVPnoPVP 　　碱性SiO2薄膜的损伤阈值比酸性SiO2薄膜高,可能是因为酸性SiO2薄膜的结构较碱性SiO2薄膜致密, 从而使其热吸收率较高。两步法的引入对SiO2薄膜激光损伤阈值没有影响。ZrO2溶胶中添加有机粘接剂可以有效提高ZrO2薄膜的激光损伤阈值。2.3　损伤机理分析2.3.1　热效应的影响 　　在强激光照射下的薄膜损伤有两种:对高吸收率膜是熔化、蒸发;对低吸收率膜则是破裂、剥落。薄膜损伤斑也就区分为熔融型和应力破裂型两种。SiO2薄膜的损伤斑就是典型的熔融型;ZrO2薄膜的损伤斑就是典型的应力破裂型。损伤形貌如图2所示 。 Fig.2　Laserdamagemicrograph 图2　SiO2薄膜及ZrO2薄膜激光损伤形貌 　　从激光损伤的物理过程可以很好地解释单层薄膜损伤的形貌。高功率激光与薄膜相互作用的过程可以归 纳为膜料吸收激光能量的热效应和激光的场效应。热效应主要考虑薄膜物质吸收光子能量,将光能转换成热能,从而引起薄膜的破坏;场效应主要考虑激光的电磁特性,强的激光场对薄膜产生的破坏[2]。其中,热效应是导致薄膜激光损伤的主要因素[3]。　　SiO2薄膜由于热吸收使局部温度升高,从而产生熔融状态的损伤斑。ZrO2薄膜的热膨胀系数和基底的热膨胀系数不匹配,导致了薄膜的破裂,从而形成剥离形态的损伤光斑(激光波长取值不同,情况会改变)。ZrO2材料在高温下容易离化,结构不稳定。当处在1100℃高温时,它由单斜晶系转变为正方晶系,伴随着激烈的体 ? 1995-2005 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 第5期　　　　　　　　　　　　杨　帆等:溶胶2 凝胶光学薄膜的激光损伤研究441积变化,引起变形,导致内部状态不稳定。在