300mm立式氧化炉炉体的装配制造.doc

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2021-06-04 发布于湖北
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北京化工大学毕业设计(论文) Page60 Page60 300mm立式氧化炉炉体的装配制造摘要本论文主要阐述了，300mm立式氧化炉是国产自主研发的12英寸立式氧化炉应用于3DNANDFlash制程，扩展了国产立式氧化炉的应用领域。炉体是设备中的关键部件之一，下面主要介绍了炉体的生产装配过程以及在装配中的注意事项。在炉体的装配的过程主要包括：车床使用知识，缠绕炉丝，炉体腔内工装的组装，绝缘子的安装，顶块底块的安装，水冷管的安装铺设塞拉毯后的内壁外壁的铆装，炉体引线的焊接等。炉体制造时应注意以下几点：1.按照炉体装配的图文档进行装配2.零部件装配前擦拭干净，表面无污渍；3.绕